太陽能玻璃行業低溫等離子技術的應用主要包括以下3方面：
一、低溫等離子清理肉眼不可見的油污
        電池板表層會留下指紋和油污，因為員工在排放或焊接過程中接觸手指。電池板表面有詳細的絨面結構，難以清洗。油污會阻礙電池板表層對光的吸收和利用，降低組件的發電效率。低溫等離子會通過電離氣體產生高溫高速電子束流（宏觀低氣體溫度）。束流在軸向風扇的作用下吹掃，去除充電電池表面的油污，其中油污是可以反應掉的而指紋是不能去除的因為指紋主要是無機鹽成分，進而有去除油污達到清潔的作用

二、低溫等離子表層制絨
        多晶硅光伏電池表層需要制備一層蠕蟲絨面，以提高光的吸收和利用效率。一般的制備工藝是利用硝酸和氫氟酸對多晶硅電池表面進行絨面腐蝕，并在硅片表層形成一層多孔硅。多孔硅可作為一個復雜的吸收中心，提高光生載流子的壽命，并具有較低的反射系數。但多孔硅結構松散不穩定，電阻高，表面復合率高。等離子技術的高速顆粒撞擊充電電池表層，一方面可以使絨面處理更加詳細有序，另一方面也可以使表面結構更加穩定，減少復合中心的產生。
三、低溫等離子溫度刻蝕
       由于磷在光伏制備過程中的擴散，電池片的表面和邊緣將或多或少地與磷混合。隨著磷的擴散，光生電子將從前流向背面，導致PN短路導致并聯電阻降低。并聯電阻反映了鋰電池的外泄程度，會影響太陽能電池的開路電壓，降低開路電壓，而對短路電流沒有影響。蓄電池表層也就會產生PSG(磷硅玻璃)，PSG易于吸收空氣中的水分，導致電流降低和功率衰減。低溫等離子技術能通過顆粒吹掃分解多余的磷，進而去除PSG的目的。