等離子表面處理的機理，主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。就反應機理來看，等離子體清洗通常包括以下過程∶無機氣體被激發為等離子態;氣相物質被吸附在固體表面﹔被吸附基團與固體表面分子反應生成產物分子;產物分子解析形成氣相﹔反應殘余物脫離表面。
       等離子表面處理技術的特點是不分處理對象的基材類型，均可進行處理，對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料，如聚丙烯、聚臘、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實現整體和局部以及復雜結構的清洗。等離子表面處理是有效的對表面進行清洗、活化和涂層的處理工藝之一，可以用于處理各種材料，包括塑料、金屬或者玻璃等。

       等離子表面處理對表面清洗，可以有效清除表面上的脫模劑和添加劑等，而其活化過程，則可以確保后續的粘接工藝和涂裝工藝等品質，對于涂層處理而言，則可以進一步改善復合物的表面特性。使用這種等離子技術，可以根據特定的工藝需求，高效地對材料進行表面預處理。
       等離子表面處理技術在塑料表面改性原理
       等離子體中粒子的能量一般約為幾個至幾十電子伏特，大于聚合物材料的結合鍵能幾個至十幾電子伏特)，完全可以破裂有機大分子的化學鍵而形成新鍵;但遠低于高能故射性射線，只涉及材料表面，不影響基體的性能。處于非熱力學平衡狀態下的等離子表面處理中，電子具有較高的能量，可以斷裂材料表面分子的化學鍵提高粒子的化學反應活性(大于熱等離子體)，而中性粒子的溫度接近室溫，這些優點為熱敏性高分子聚合物表面改性提供了適宜的條件。
       等離子表面處理機體積小，重量輕，價格實惠，廣泛應用于印刷包裝行業，光電制造行業，汽車制造行業，金屬及涂料行業，陶瓷表面處理，電纜行業，窄塑料表面，數碼產品表面，金屬表面處理。