在小型等離子清洗機的工作原理中，電容耦合(不銹鋼腔)和電感耦合(應時玻璃腔)一直有兩個工作原理。這兩種工作方法有什么區(qū)別？
       容性耦合等離子體是產生容性耦合等離子體最早、應用最廣泛的方法，廣泛應用于清洗、蝕刻和表面改性。電容耦合等離子體又稱電場耦合等離子體。它的產生機制是在低壓條件下，在兩極板之間施加高頻電場，使氣體電離，產生穩(wěn)定的plasma。

       感應耦合是感應線圈中的交流電場，在反應室中耦合感應產生二次電場，在低壓下激發(fā)等離子體。
       外電極結構易于實現(xiàn)電感耦合等離子體，用于等離子體清洗，可更好地解決極板濺射問題。電感耦合等離子體廣泛應用于原子光譜分析。利用ICP光源產生光譜，根據(jù)物質的特性分析物質的化學成分、結構和存在。
       典型的外部電極結構是最早的電感耦合結構，其特點是結構簡單，無電極污染。但由于二次耦合，耦合效率低，等離子體均勻性差。
       平面耦合線圈可以產生大面積的等離子體。適用于等離子蝕刻、等離子精脫膠等高端要求較高的場合。
       由于電感線圈位于等離子體中，線圈具有良好的耦合性和高效率，但電極浸泡在等離子體中，在電場的作用下被顆粒轟擊，線圈的大小會發(fā)生變化，電極容易濺射，對清洗或蝕刻的材料有害。當污染發(fā)生時，在使用這種結構時，有必要在電感線圈表面包裹一層介電層。由于無線電頻率為13.56MHz，波長為22米，因此具有很強的穿透力。
       不銹鋼板通常由電容器耦合等離子體清洗機的反應室(真空室)制成。電容板位于真空室。金屬盒本身屏蔽效果好，不需要單獨考慮屏蔽。
       感應耦合真空室由應時玻璃制成，感應線圈安裝在真空等離子體清洗機外。如果不考慮屏蔽，在使用過程中會產生強烈的射頻電磁干擾，影響控制系統(tǒng)和其他設備的正常運行。