等離子體清潔機產生的電子、離子和自由基在金屬表面清洗過程中的作用：
一、CRF等離子體清潔機產生的電子在金屬表面清洗過程中的作用
       在等離子體清潔機中，電子與原子或分子之間的碰撞會產生激發態中性原子或原子團（又稱自由基），激發態原子或自由基與污染物質分子發生活化反應，使污染物質脫離金屬表面。當電子輸送到表層清潔區域時，與被清潔表層吸附的污染物質分子發生碰撞，會促使污染物質分子分解，產生活性自由基，有利于進一步激活污染物質分子；而且，質量小的電子比離子運動快得多，所以電子比離子早到達物體表層，使表層有負電荷，有利于進一步激活反應。

二、等離子體清潔機離子在金屬表面清洗過程中的作用
       一方面，陽離子被物體表層的負電荷加速，獲得巨大的動能。純物理碰撞會剝離附著在物體表層的污垢；另一方面，陽離子的沖擊也可以增加物體表層污染物質分子發生活化反應的概率。
二、等離子體清潔機產生的自由基在金屬表面清洗過程中的作用
       一般來說，等離子中自由基的數量多于離子，呈電中性，使用壽命長，能量大。在清洗過程中，表層污染物質分子容易與高能自由基結合，產生新的自由基。這些新的自由基也處于高能狀態，極不穩定，容易分解成小分子，同時產生新的自由基。這個過程將繼續進行，直到分解成穩定揮發的簡單小分子，最終將污染物質從金屬表面分離出來。在這個過程中，自由基的主要作用是活化過程中的能星傳遞。在自由基與表層污染物質分子結合的過程中，會釋放出大量的組合能量，釋放出來的能量作為促使表層污染物質分子新活化反應的動力，有利于污染物質在等離子的活化作用下更徹底地去除。