直接影響等離子清洗成效的要素有5個部分：
1.等離子清洗材料的類型和特性
       聚合物材料的結晶度對等離子體處理的及時性有顯著影響。聚合物材料內無定型區分子結構松散，分子間距大；結晶區部分分子排列緊密有序，分子間距小。對于高結晶聚合物材料，由于結晶區相對含量大，等離子清洗后表面極性基團的翻轉和鏈段運動需要克服較大的阻力，因此表面極性基團的衰減程度較小。

2.等離子清洗氣體的配比
       不同等離子體氣氛對聚合物材料的表面處理效果不同，處理后的及時性也不同。例如，LDPE采用氬氣和氧氣混合等離子體進行處理。研究結果表明，當氬氣和氧氣的體積比為9時，等離子體處理效果和處理后的及時性與氬氣和氧氣的比有關∶1時處理效果最好，時效性最低。
3.等離子清洗功率
        增加等離子體處理功率會提高等離子體內的能量密度，有利于增強等離子體與聚合物材料表面的反應，增加聚合物材料表面的氧含量，產生交聯反應。
4.等離子清洗時間
        等離子體處理時間的長度也會影響處理后材料表面的動態特性。等離子體處理時間越短，及時性越明顯。這主要是由于等離子體處理時間對聚合物材料表面氧化層厚度的影響。等離子體處理時間越短，材料表面氧化層厚度越小，及時性越明顯；相反，處理時間越長，氧化層厚度越大。及時性越不明顯。
5.被處理材料的基體溫度
        基體溫度低：引入的基體位于材料最表面（約0.5nm范圍內），基體溫度高：極性基體位于材料表面約0.5~8nm范圍內，材料最表面的極性基體容易轉移到材料內部，使處理效果衰減。