等離子清洗機為什么會產生輝光呢？原因就在于等離子清洗機在使用過程中，會使用不同的氣體進行工藝處理。在低氣壓條件下,將一定的電壓加到兩個平板電極上即可形成輝光放電,是一種穩定的自持放電,其放電電流的大小為毫安數量級。等離子清洗機在密封容器中設置兩個電極形成電場，用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體變稀薄，分子之間的間距和分子或離子的自由運動的距離也越來越長，而后通過電場作用發生碰撞而形成等離子體。離子是沒有方向性及規則性的，發生反應時離子不斷抨擊物體的表面使之產生相互碰撞，不同氣體發出輝光顏色不同，是因為發生了不同的物理反應。利用等離子處理會發出輝光，又稱之為輝光放電處理。

       輝光放電在兩極電場的作用下，電子和正離子分別向陽極、陰極運動，并在此過程中堆積在兩極附近形成空間電荷區 。又因為正離子的漂移速度遠小于電子，所以正離子空間電荷區的電荷密度比電子空間電荷區要大得多，讓整個極間電壓幾乎全部集中在陰極附近的狹窄區域內。這也是輝光放電的顯著特征，而且在輝光正常放電時，兩極間電壓不會隨著電流的改變而發生變化。
       而等離子清洗機在使用過程中，會使用不同的氣體進行工藝處理。不同氣體中的能級均具有不同的能量轉換，不同工藝氣體顯示了不同特點的發光，并因此產生不同特征的顏色。每種氣體電子躍遷時發出的光波長都不一樣，所以也就能夠看到不同顏色的輝光了。當然你加(大)功率到一定程度看起來都是白光，因為光子太多了。等離子清洗工藝流程中使用的氣體的典型顏色如下所述：CF4：藍色SF6：淡藍色SiF4：淺藍色SiCl4：淺藍色Cl2：淺綠色CCl4：淺綠色H2：粉紅色O2：淡黃色N2：紅色致黃色Br2：紅色He：紅色致紫色Ne：磚紅色Ar：暗紅色等離子清洗機產生的輝光顏色不僅可用于識別工藝氣體，還可以用于定性評估工藝氣體是否含有污染物。