工業量產型真空等離子清洗機連續運行的時間常常會在八個小時以上，在這種情況下，真空等離子清洗機的真空反應腔室內的所有部件，包括反應腔本體、電極板、托架以及附件等表面溫度比較高，如果沒有相關配套的冷卻循環系統，取放產品或材料不帶隔熱手套容易被燙(傷);同時處理環境溫度過高，對于一些不耐溫的產品或材料，就會引發物理形變、表面變色或燒焦等現象，甚致影響等離子處理效(果)。那么真空等離子清洗機處理產品的散熱問題如何解決呢?
一、真空等離子清洗機的放電原理和熱的形成
　　1. 從真空等離子清洗機的反應機制來看，等離子放電的環境是在一個密閉的腔室里面，而且要維持一定的真空度，這是關鍵!氣體在低氣壓狀態下，分子間的距離會比較大，相互之間的作用力就比較脆弱;當有電場、磁場等外來能量加速種子電子去碰撞氣體分子時，等離子體就形成了。
　　2. 等離子體是由電子、離子、自由基、激發態分子和原子、基態分子和光子等組成，表面上看呈電中性，其實內部具有很強的電特性、化學特性和熱效應。
　　3. 真空等離子清洗機產生的等離子體屬于非平衡等離子體，氣體溫度遠遠低于電子溫度，而且電子質量小到可以忽略不計;即便如此，電子溫度也是上萬度，這樣的話，在等離子產生和滅失的過程中，通過碰撞、輻射和接合等就會形成大量的熱，很少的一部分被真空泵抽走，大部分還是留在真空反應腔室內。

二、真空等離子清洗機處理產品或材料的反應機制
　　真空等離子清洗機處理產品是在低壓反應腔室里面進行的，基本操作流程把需要處理的物件放在托架或者是電極上面，關上反應腔體室的門;然后抽真空致設定的背底真空值，通入相應的工藝氣體并維持真空度在20-100Pa范圍;接下來啟動電源形成等離子體與產品或材料進行物理或化學反應，包括等離子清洗、等離子活(化)、等離子刻蝕和等離子聚合等;等整個反應完成后，通入壓縮空氣或氮氣，進行破空，取出物件。