低溫等離子表面技術，即非平衡等離子體技術，在外靜電場的影響下，導電介質放電產生大量高能電子，高能電子與揮發性有機物發生一系列復雜的等離子物理化學反應，使有機污染物降解成無毒、無污染的物質。

       本文介紹了低溫等離子技術的基本原理、基本原理、基本原理、基本原理、基本原理和基本原理。電介質阻擋放電是1種高氣壓非平衡放電過程。介電阻擋放電是產生等離子最方便、有效的技術手段。低溫等離子表面技術在處置揮發性有機物方面具有獨特的性能，在今后的研究中具有廣闊的應用前景。在低溫等離子表面技術揮發性有機化合物中，反應器的電源多為工頻電源。從提高處置效率的角度來看，能夠考慮選擇高頻電源。高頻高壓電源放電具有電壓峰值和頻率高的特點。與工頻相比，它占地面積小，去除率更高，能效更高，處置能力更大，將有利于其未來的工業適用。
等離子表面處理技術是1種干式處置技術，取代了傳統的濕法處置技術，具有以下五個優點：
1.低溫等離子表面技術環保技術:等離子影響過程為氣固相干反應，不消耗水資源，不添加化學物質。
2.低溫等離子表面技術效率高:整個過程能夠在短時間內完成。
3.低溫等離子表面技術成本低:裝置簡單，易于操作和維護，少量氣體代替昂貴的清洗液，無廢液處置成本。
4.低溫等離子表面技術處置更加精細:能夠深入微孔和凹陷的內部，完成清潔任務。
5.低溫等離子表面技術適用比較廣泛:等離子表面處理技術能夠處置大部分固體物質，因此適用比較廣泛。