在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產品表面。以達到清洗目的。
　   等離子清洗機清洗原理： 
　　1.激(活)鍵能，交聯作用
　　等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學鍵產生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網狀的交聯結構，大大地激(活)了表面活性。
 　　2.對材料表面的刻蝕作用--物理作用
　　 等離子清洗機中的大量離子、激發態分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清(除)了表面原有的污染物和雜質，而且會產生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。
　　3.形成新的官能團--化學作用
       如果放電氣體中引入反應性氣體，那么在活(化)的材料表面會發生復雜的化學反應，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基團，能明(顯)提高材料表面活性。

       我們都知道，散熱的方式大致有四種：輻射、傳導、對流、蒸發。對于真空等離子清洗機的反應腔本體、電極板、托架以及附件的散熱，主要是靠傳導散熱和輻射散熱，少量的對流散熱。
　　1. 真空等離子清洗機的反應腔室本體一般都是鋁或不銹鋼的材質，電極板基本上采用鋁合金，這兩部分在等離子體處理產品的時候吸收了大量的熱，不加配套設施的情況下，就會以傳導的方式和熱射線的形式散發給周圍溫度較低的物體，例如機臺緊固件、外殼和低溫空氣中。
　　改善措施：給電極和反應腔室增加冷卻系統，例如電極采取蛇形管貼附或者中通冰水的方式，可以大大改善散熱效(果)。
　　2. 真空狀態下氣體往往以擴散方式進行，很難形成對流;真空等離子清洗機腔室內的熱量，由真空泵帶走的也是比較有限。
　　改善措施：加(大)進氣量或提高抽速，但要考慮放電的真空度和等離子處理效(果)。
　　其他方面，等離子發生器的選型、功率大小的設定、真空腔室大小和電極結構的設計等，對于散熱問題的改善也是有幫助的。