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20年專注等離子清洗機研發生產廠家
crf等離子表面處理儀作為一種行之有效的官能團引起手段已成功的用于CO2氧化CH4一步制取C2烴反應，取得了比化學催化法更好的試驗效果。但C2烴產物選擇性較低，反應機理尚不清楚，因此有必要對等離子體作用下CO2氧化CH4一步制取C2烴反應進行深入研究。
采用發射光譜方法，在紫外-可見波段可有效地檢測到crf等離子表面處理儀中許多種類的激發態物種，不對等離子體反應體系產生干擾，可實現原位分析。因而近年來，有關發射光譜原位診斷技術用于crf等離子表面處理儀的研究報道不斷增多，但主要集中于對等離子體條件下CH4-H2制金剛石薄膜沉積體系的研究。采用發射光譜法原位診斷技術分析crf等離子表面處理儀條件下CO2氧化CH反應體系不同CO2加入量時CH4反應活性物種。
